改进的溶胶-凝胶法制备不同厚度的PZT薄膜

摘要：

采用改进的溶胶-凝胶技术,在Pt(111)/Ti/SiO<,2>/Si(100)基底上制备了不同厚度的Pb(Zr<,0.50>Ti<,0.50>)O<,3>薄膜,在600℃的退火系统下获得了晶格完善的钙钛矿结构.通过前驱体溶液的差热(DTA)、热重(TGA)实验以及PZT膜加热到不同温度的物相转化分析了PZT薄膜的相结构演化过程.采用X射线衍射仪和扫描电子显微镜表征了PZT薄膜的物相和微观形貌,用HP4194A阻抗分析仪测量了薄膜的介电性能.实验结果表明,随着退火循环次数的增多,PZT(111)相含量增加;薄膜的晶粒大小不随薄膜厚度改变;薄膜晶粒呈柱状生长;薄膜的介电常数测量频率的增加而降低,随薄膜厚度增加而增加.

关键词： 溶胶-凝胶 PZT薄膜 介电性能

作者: 刘梦伟 佟建华 王兢 董维杰 崔天宏 王立鼎

作者单位: 大连理工大学微系统中心(辽宁大连) 大连理工大学电子工程系(辽宁大连) 大连理工大学微系统中心(辽宁大连);Department of Mechanical Engineering,University of Minnesota,111 Church Street SE,

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届中国功能材料及其学术会议

会议地点: 秦皇岛

会议语种:中文

页码: 3224-3227

在线出版日期: 2004-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）