微等离子体氧化法TiO<,2>、TiO<,2>(W)薄膜的制备及性能

摘要：

利用微等离子体氧化方法,在纯Ti金属表面制备TiO<,2>、TiO<,2>(W)薄膜,并用X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)初步研究了薄膜的组织结构和表面形貌.在不同的条件下,得到3种不同类型结构组成的薄膜:单一TiO<,2>的锐钛型结构、单一TiO<,2>金红石结构及TiO<,2>(W)薄膜;同时对薄膜的催化特性进行了初步的研究.

关键词： 锐钛型 金红石 微等离子体氧化 薄膜

作者: 高玉周 张世锋 王亮 严立

作者单位: 大连海事大学材料及工艺研究所(辽宁大连)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届中国功能材料及其学术会议

会议地点: 秦皇岛

会议语种:中文

页码: 3175-3177,3180

在线出版日期: 2004-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）