128×128阵列MAMA器件

摘要：

该文介绍了最新研制的１２８×１２８阵列ＭＡＭＡ器件。该器件采用了叠合式阵列阳极、三块微通道板及近贴取焦等先进技术，脉冲上升时间为０．３ｎｓ、单光子计数率为２×１０〈’５〉／Ｓ等器件的主要性能参数达到了国外同类产品水平。

关键词： ＭＡＭＡ器件 阵列阳极 微通道板 光子计数

作者: 戴丽英 徐华盛 李慧蕊 黄敏

作者单位: 电子器件研究所(南京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国电子学会真空电子学分会第十二届学术年会

会议地点: 南京

会议语种:中文

页码: 308～310

在线出版日期: 1999-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）