Mo-Ti多层膜退火过程中Ti析出与应力变化分析

摘要：

用XRD Sin<”2>4方法系统研究了Mo-Ti薄膜退火过程中Ti析出与薄膜应力的变化。磁控溅射形成的过饱和Mo-25at．℅Ti多层膜不同温度下的退火实验表明bcc Ti析出发生，且析出相与田相具有相同的织构取向；随着Ti的析出薄膜应力由制备态时的位伸型变为收缩，并下断增加直到饱和。

关键词： M<,o>-25at.℅T<,I> X-射线衍射 退火 应力 钛 析出 薄膜 多层膜

作者: 夏瑞东

作者单位: 师范大学物理系

会议类型: 国内会议

会议名称: 第七届全国X射线衍射学术会议

会议地点: 武汉

会议语种:中文

页码: 157～160

在线出版日期: 1998-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）