会议专题

碲镉汞探测器的表面钝化

半导体表面是具有特殊性的表面,对外界环境气氛极为敏感,因而严重地影响半导体的特性。表面对于碲镉汞红外探测器性能有决定性的影响。为了保证器件性能,提高可靠性和稳定性,必须对表面采取有效的保护措施即所谓表面钝化技术,钝化(降低)对外界环境的敏感性。

碲镉汞 探测器 表面钝化

朱惜辰

昆明牧师研究所(云南)

国内会议

第十三届全国红外科学技术交流会

北京

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156-160

2000-01-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)