激光能量对碲镉汞注入样品退火效果的影响
利用脉冲YAG激光器对砷注入长波碲镉汞样品进行激光退火，分析不同能量密度的激 光光束退火所引起的样品表面电学性质的变化。实验表明，激光能量密度越大，激光退火的效果越明显。研究人员们认为要达到理想退火效果，样品表面一薄层需处于近熔化状态，以得到晶格结构的重新组织。
碲镉汞 激光退火 迁移率谱
张燕 李向阳 方家熊
传感器国家重点实验室中国科学院上海技术物理研究所(上海)
国内会议
海口
中文
440～443
2000-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）