超高纯度氮、氢、氧的制备

摘要：

作者例举了大规模集成电路生产中,需要高纯度氮、氢、氧的技术要求.阐述了制备高纯度氮、氢、氧的方法、工艺流程,以及对设计提纯气体装置的特殊要求.

关键词： 超高纯度气体 纯化方法 水电解法

作者: 章炎生

作者单位: 上海浦东德州路150弄74号602室

会议类型: 国内会议

会议名称: 机械部气体分离设备科技信息网、中国制冷学会第二专业委员会(深冷)第十一次全网大会

会议地点: 承德

会议语种:中文

页码: 101-104

在线出版日期: 1998-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）