MEMS技术及发展建言

摘要：

本文论述了MEMS技术的概念研究内容、发展趋势及应用领域,并从五个方面提出了发展我国MEMS技术的建议:一、结合我国国情.二、以市场为导向.三、加强工艺装备的研究.四、结合国家的发展战略和发展规划.五、培养专业技术人才.

关键词： 微机电系统 市场导向 工艺装备 发展规划

作者: 徐开先

作者单位: 沈阳仪表科学研究院

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国科协”振兴东北地区等老工业基地”专家论坛暨首届沈阳科学学术年会

会议地点: 沈阳

会议语种:中文

页码: 919-923

在线出版日期: 2004-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）