虚拟仪器与电容实现水膜的自动测量与控制

摘要：

为了有效的在线测量水膜,本文采用低成本的非接触式、高精度电容测微仪作为水膜厚度的传感器件,采用虚拟仪器进行测量状态的分析,并根据测量结果给出控制信号.

关键词： 传感器 虚拟仪器 水膜测量 电容测微仪

作者: 杨燕罡 王仲 宋丽梅 曲兴华 叶声华

作者单位: 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室(天津)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国测试与故障诊断技术研讨会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 77-83

在线出版日期: 2004-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）