MWECR-CVD系统新型磁场结构的研究

摘要：

本文主要介绍了一种用于微波电子回旋共振CVD系统的新型磁场结构,提出了磁场线圈与沉积室永磁体单元组合的结构,并对这一结构及其对等离子体的影响进行了实验和分析.

关键词： 微波电子回旋共振 磁场 永磁体

作者: 阴生毅 张永清 陈光华

作者单位: 中科院电子所(北京) 北京工业大学材料科学与工程学院(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 2004全国荷电粒子源、粒子束学术会议

会议地点: 乌鲁木齐

会议语种:中文

页码: 330-334

在线出版日期: 2004-09-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）