辉光离子轰击对镍钛镀层中Ti原子的定向扩散作用

摘要：

本文主要通过利用扫描电镜、能谱仪以及X衍射分析仪等手段,对Ti原子向Si<,3>N<,4>陶瓷界面作定向扩散的现象,作了较全面的表征和分析.

关键词： 复合电镀镍钛 陶瓷 离子轰击 定向扩散

作者: 张永清 阴生毅 任家烈 赵彭生 林毅

作者单位: 中科院电子所微波器件中心(北京) 清华大学机械工程系(北京) 太原理工大学材料科学与工程学院(太原)

会议类型: 国内会议

会议名称: 2004全国荷电粒子源、粒子束学术会议

会议地点: 乌鲁木齐

会议语种:中文

页码: 325-329

在线出版日期: 2004-09-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）