ECR微波等离子体增强沉积技术制备功能梯度涂层

摘要：

本文主要介绍了采用微波ECR等离子体增强沉积技术与磁过滤式真空阴极电弧离子镀相结合的方法,制备热障梯度涂层,实现了金属基体到陶瓷表面层的连续过度.

关键词： 等离子体增强沉积技术 阴极电弧离子 热障梯度涂层

作者: 陈庆川 王珂 许择金 刘华英 徐丽云

作者单位: 核工业西南物理研究院

会议类型: 国内会议

会议名称: 2004全国荷电粒子源、粒子束学术会议

会议地点: 乌鲁木齐

会议语种:中文

页码: 306-313

在线出版日期: 2004-09-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）