电子束物理气相沉积设备浅析

摘要：

本文主要概述了电子束物理气相沉积技术的原理和特点,并基于国际上先进的电子束物理气相沉积设备介绍了设备工作特性、组成及结构特点.

关键词： 电子束 物理气相沉积 陶瓷热障涂层

作者: 房晓辉 武洪臣

作者单位: 北京航空制造工程研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 2004全国荷电粒子源、粒子束学术会议

会议地点: 乌鲁木齐

会议语种:中文

页码: 256-260

在线出版日期: 2004-09-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）