用于薄膜制备的宽束射频离子源

摘要：

射频宽束离子源在电火箭空间应用向地面应用扩展而来.本文主要叙述了射频感应离子束的设计理论、关键技术,特别论及三栅离子光学的高性能及可靠性.

关键词： 离子源 射频 薄膜制备 感应耦合离子体

作者: 尤大伟 黄小刚 任荆学 李安杰

作者单位: 中国科学院空间科学与应用研究中心(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 2004全国荷电粒子源、粒子束学术会议

会议地点: 乌鲁木齐

会议语种:中文

页码: 19-25

在线出版日期: 2004-09-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）