离子轰击能量对不同材料沉积ta-c薄膜结合强度的影响研究

摘要：

本文对过滤阴极真空电弧沉积ta-c薄膜的前处理工艺中,采用高能量离子轰击基体表面对薄膜结合强度的作用进行了实验研究.

关键词： 薄膜附着力 非晶金刚石薄膜 过滤阴极真空电弧 离子镀膜

作者: 赵玉清 林毅

作者单位: 西安交通大学电信学院

会议类型: 国内会议

会议名称: 2004全国荷电粒子源、粒子束学术会议

会议地点: 乌鲁木齐

会议语种:中文

页码: 188-195

在线出版日期: 2004-09-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）