IBED沉积Cr-N膜层组织结构及微动摩擦学性能研究

摘要：

本文主要介绍了不同氮离子辅助轰击能量制备Cr-N膜层,利用纳米压入仪及显微硬度计分别测试单晶Si片上膜层的硬度及断裂韧性值,分析离子轰击能量对镀层组织结构的影响.

关键词： 离子束增强沉积 组织结构 微动摩擦学性能 磨损量

作者: 唐宾 李咏梅 秦林

作者单位: 太原理工大学表面工程研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 2004全国荷电粒子源、粒子束学术会议

会议地点: 乌鲁木齐

会议语种:中文

页码: 161-166

在线出版日期: 2004-09-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）