高功率离子束辐照混合的RBS研究

摘要：

本文采用卢瑟福背散射的方法对高功率离子束辐照Ti/Al,Al/Ti和Ni/Ti三组薄膜/衬底体系所形成的混合层进行了研究,试图了解更多关于混合效果与HPIB参数.

关键词： 高功率离子束 离子束混合 卢瑟福散射 辐照

作者: 颜莎 乐小云 赵渭江 王宇钢 薛建明

作者单位: 北京大学重离子物理研究所;教育部重离子物理开放实验室(北京) 北京航空航天大学理学院物理系(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 2004全国荷电粒子源、粒子束学术会议

会议地点: 乌鲁木齐

会议语种:中文

页码: 152-156

在线出版日期: 2004-09-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）