等离子体浸没离子注入过程的Particle-in-cell模拟

摘要：

本文描述了靶体负脉冲偏压的波形对等离子体鞘层内各变量的影响,特别是鞘层的扩展过程和注入靶体的离子流密度.

关键词： 等离子体浸没离子注入 等离子体鞘层 粒子模拟 上升沿 表面改性

作者: 黄永宪 田修波 杨士勤 Ricky Fu Paul K.Chu

作者单位: 哈尔滨工业大学现代焊接生产技术国家重点实验室(黑龙江哈尔滨) 香港城市大学物理及材料科学系(香港九龙)

会议类型: 国内会议

会议名称: 2004全国荷电粒子源、粒子束学术会议

会议地点: 乌鲁木齐

会议语种:中文

页码: 145-151

在线出版日期: 2004-09-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）