等离子体浸没离子注入在绝缘材料处理中的应用

摘要：

等离子体浸没离子注入是一种新形式的离子注入技术.本文从理论和实际处理的角度论证了绝缘材料等离子体注入的可能性、可操作性,并给出了一些实际例证.

关键词： 离子注入 绝缘材料 等离子体 表面改性

作者: 田修波 杨士勤

作者单位: 现代焊接生产技术国家重点实验室,材料科学与工程学院,哈尔滨工业大学(哈尔滨)

会议类型: 国内会议

会议名称: 2004全国荷电粒子源、粒子束学术会议

会议地点: 乌鲁木齐

会议语种:中文

页码: 138-144

在线出版日期: 2004-09-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）