Ti、Cu离子注入Al<,2>O<,3>表面特性分析

摘要：

本文主要介绍了采用掠射X射线衍射分析了分别注Ti和注Cu的α-Al<,2>O<,3>样品表面物相变化,并用四探针仪和扫描电子显微镜分析了样品表面电阻和形貌注入剂量的变化.

关键词： 掠射X射线衍射 离子注入 表面相变 氧化铝

作者: 李德兴 康建昌 王杰 张济中 李文治

作者单位: 清华大学材料科学与工程系(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 2004全国荷电粒子源、粒子束学术会议

会议地点: 乌鲁木齐

会议语种:中文

页码: 111-115

在线出版日期: 2004-09-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）