MEVVA源离子注入陶瓷刀具表面改性研究

摘要：

本文介绍了采用MEVVA强流金属离子源注入机,系统研究了氧化铝和氮化硅陶瓷刀具在注入不同离子后材料结构变化,提高刀具的耐磨损性能和使用寿命.

关键词： 陶瓷 刀具 离子注入 表面改性

作者: 彭志坚 李文治 苗赫濯 石峰

作者单位: 清华大学材料科学与工程系(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 2004全国荷电粒子源、粒子束学术会议

会议地点: 乌鲁木齐

会议语种:中文

页码: 106-110

在线出版日期: 2004-09-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）