多孔硅中氧、碳、氮行为的研究

摘要：

本文用化学腐蚀法在多晶硅片上制作多孔硅,通过不同的热处理过程,对多孔硅的表面微结构的SEM测量,分析了其表面结构特点.通过SEM、X-EDS、Raman及XPS研究了氧在多孔硅层中的主要热行为.论述了在多孔硅用于太阳能电池时应注意的问题.

关键词： 氧沉淀 快速热处理 多孔硅 太阳能电池

作者: 王海燕 段启亮 卢景霄 孙晓峰 陈泳生 冯团辉 李瑞

作者单位: 郑州大学物理工程学院

会议类型: 国内会议

会议名称: 河南省第四届青年学术年会

会议地点: 郑州

会议语种:中文

页码: 485-489

在线出版日期: 2004-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）