α-Si:H薄膜固相晶化及结晶度的研究

摘要：

优质的多晶硅薄膜是制备出高效多晶硅薄膜太阳电池的前提条件.该论文用传统的固相晶化法制备多晶硅薄膜.利用Raman光谱对其结构进行分析.研究了多晶硅薄膜的结晶度随退火温度、退火时间和升、降温速率的变化.

关键词： 多晶硅薄膜 固相晶化 结晶度 太阳电池

作者: 冯团辉 张宇翔 杨仕娥 陈永生 王海燕 陈广顺 卢景霄

作者单位: 郑州大学物理工程学院

会议类型: 国内会议

会议名称: 河南省第四届青年学术年会

会议地点: 郑州

会议语种:中文

页码: 325-328

在线出版日期: 2004-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）