多晶硅薄膜的制备参数对其结晶状况的影响

摘要：

我们使用等离子体增强型化学气相沉积(PECVD)的方法在玻璃衬底上制备了用于太阳能电池的多晶硅薄膜.通过对其Raman谱的分析得出不同沉积条件下薄膜的结晶状况,并对其结果进行了一系列的讨论分析.

关键词： 多晶硅薄膜 化学气相沉积 衬底温度 射频功率

作者: 李瑞 陈永生 杨仕娥 靳锐敏 王海燕 张宇翔 卢景宵

作者单位: 郑州大学物理工程学院教育部材料物理重点实验室

会议类型: 国内会议

会议名称: 河南省第四届青年学术年会

会议地点: 郑州

会议语种:中文

页码: 322-325

在线出版日期: 2004-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）