Ti、NiTi表面阳极氧化膜形貌

摘要：

本研究工作探索在纯钛、NiTi薄片及磁控溅射Ti、NiTi膜表面阳极氧化制备氧化膜,并运用金相显微镜和原子力显微镜分析氧化纳米膜形貌.研究结果表明,纯钛薄片在相同阳极氧化时间下,随着阳极电压升高,氧化钛颗粒尺寸增大;在相同阳极电压下,随氧化时间的增长,氧化钛颗粒尺寸增大.相同阳极氧化处理条件下,在磁控溅射Ti膜上阳极氧化纳米膜颗粒明显比在纯钛片上氧化纳米膜颗粒粗大.NiTi合金薄片在0.5％HF水溶液中阳极氧化长时间(30min)表面基本无变化,不能形成氧化膜;而磁控溅射NiTi膜在相同阳极氧化条件下发生阳极氧化,在其表面生成氧化纳米膜.

关键词： 磁控溅射 氧化钛 纳米膜 阳极氧化膜 组织形貌

作者: 谢超英 易文娟

作者单位: 上海交通大学材料科学与工程学院(上海)

会议类型: 国内会议

会议名称: 2004中国(青岛)材料科技周

会议地点: 青岛

会议语种:中文

页码: 126-128

在线出版日期: 2004-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）