微机电系统(MEMS)集成设计技术

摘要：

针对微机电系统设计存在多学科交叉、周期长等问题,提出了”自顶向下”设计与”自底向上”修正的双向微机电系统集成设计方法,并以微惯性器件为典型对象讨论了所涉及的关键技术.在此基础上构建了微机电系统集成设计平台,平台可以实现系统级、器件级和工艺级的多设计入口以及全参数化驱动的微机电系统设计.并以硅微加速度为例对该设计思想和平台进行了验证.

关键词： 微机电系统 集成设计 设计平台 系统级 器件级 工艺级

作者: 苑伟政

作者单位: 西北工业大学微/纳米系统实验室(西安)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第七次海峡两岸机械工程技术交流会

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 64-69

在线出版日期: 2004-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）