静电防护技术的实践

摘要：

随着集成度不断提高,集成电路的内绝缘层愈来愈薄,其互连线与间距愈来愈小,相互击穿电压愈来愈低静电防护的重要性更加突出.本文简述了电子产品集成过程中静电防护的实践,在工程中解决了静电接地、静电防护等技术问题.

关键词： 静电控制 静电评价 集成电路 静电防护

作者: 倪靖伟 邱颖霞

作者单位: 华东电子工程研究所(安徽合肥)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第四届电子产品防护技术研讨会

会议地点: 安徽

会议语种:中文

页码: 114-118

在线出版日期: 2004-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）