微加速度计

摘要：

本文论述了微机械系统(MEMS)的发展,介绍了电容式微加速度计和压阻式微加速度计的结构,分析了它们的工作原理,以及制作工艺.

关键词： 微加速度计 电容 单晶硅 微机械系统 制作工艺

作者: 胡莉 李茜

作者单位: 西南科技大学信控学院(绵阳)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国自动化学会、中国仪器仪表学会2004年西南三省一市自动化与仪器仪表学术年会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 561-564

在线出版日期: 2004-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）