微小卫星与磁通门磁强计的微型化

摘要：

磁通门微型化包括传感器和信号调制电路微型化,本文重点介绍两轴传感器平面微加工技术;利用CMOS集成和后处理技术两部分.

关键词： 微小卫星 磁通门磁强计 传感器 信号调制电路

作者: 贾文奎 王晓霆 陈肇新 杨小兵

作者单位: 中科院空间中心 北京微电子技术研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国空间科学学会空间探测专业委员会第十七次学术会议

会议地点: 乌鲁木齐

会议语种:中文

页码: 359-362

在线出版日期: 2004-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）