毫米波RF MEMS技术

摘要：

毫米波RF MEMS是用MEMS技术制做毫米波段的各种用于无线通讯、相控阵雷达射频器件或系统,RF MEMS的研究目标是实现无源器件和IC的集成即单片上的RF系统,使之成为集信息采集、处理、传播于一体的系统集成芯片.本文介绍了毫米波RF MEMS器件、由器件构成的应用组件与系统,给出一些典型示例.

关键词： MEMS技术 毫米波器件 集成芯片 微波集成电路

作者: 金铃

作者单位: 南京电子技术研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国电子学会微波学会第五届全国毫米波亚毫米波学术会议

会议地点: 广西

会议语种:中文

页码: 198-201

在线出版日期: 2004-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）