单晶硅纳米薄膜面向热导率尺寸效应的理论分析

摘要：

根据Boltzmann输运理论分析了单晶硅纳米薄膜的面向热导率.热导率的尺寸效应可归结为薄膜中边界散射引起的声子弛豫时间的减小.选用Holland模型给出的单晶硅热导率理论公式,结合薄膜中面向传输声子缩减的弛豫时间,得到薄膜面向热导率的理论计算式.薄膜热导率的理论计算揭示,单晶硅纳米薄膜面向热导率具有明显的尺寸效应,并且随厚度减小而减小,其变化规律与MD模拟结果相一致.

关键词： 热导率 纳米薄膜 声子 弛豫时间 尺寸效应

作者: 肖鹏 李志信

作者单位: 清华大学工程力学系(北京),过程节能与传热强化教育部重点实验室

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国工程热物理学会2004年传热传质学学术会议

会议地点: 吉林

会议语种:中文

页码: 594-598

在线出版日期: 2004-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）