挥发金属β-二酮化合物质量传输过程的试验研究

摘要：

为了确定以乙酰丙酮铱这种金属β-二酮化合物为沉积源的金属铱MOCVD的具体工艺参数,针对基体面积较大或不规则的工艺条件,本文自行设计了能在不同温度下适时采集数据的微量失重-时间数据采集记录仪,进行了以Ar气为载气,温度在220℃-250℃之间的乙酰丙酮铱质量传输过程的试验研究,发现质量传输速度不仅与载气、温度有关,而且与有效表面积有关.实验给出了相关温度下质量传输速度的有关数据.

关键词： 金属β-二酮化合物 乙酰丙酮铱 质量传输速率 数据采集 薄膜材料 气相沉积

作者: 潘水艳 卓钺 杨盛良

作者单位: 国防科技大学材料工程与应用化学系(湖南长沙)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国金属学会第十二届分析测试学术年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 584-586

在线出版日期: 2004-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）