紫外写入平板波导的折射率分布

摘要：

本文通过紫外写入方法制作出了表面折射率分布均匀的平板波导,在光敏芯区实现了高达0.0051的光致折变.通过棱镜耦合仪测量了波导深度方向上的折射率分布和光致折变△n随深度的变化趋势,并对光致折变随深度变化曲线进行了拟合,获得了光致折变在深度方向上分布的数学表达式

关键词： 紫外写入 平板波导 折射率分布

作者: 夏君磊 郜定山 吴远大 安俊明 李健 胡雄伟

作者单位: 中国科学院半导体研究所光电子研究发展中心(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议暨第九届全国固体薄膜学术会议

会议地点: 大连

会议语种:中文

页码: 732-735

在线出版日期: 2004-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）