热光调谐滤波器的高温性能分析

摘要：

本文研究了热处理对Si基热光Fabry-Perot(F-P)腔可调谐滤波器的影响,用原子力显微镜分析了高温热退火前后的器件表面变化.发现随着退火温度的升高,器件的透射峰发生蓝移,透射峰强度下降,DBR(Distributed Bragg Beflector)反射率下降,同时样品表面起伏加大,晶粒尺寸增大.透射峰蓝移是非晶硅和SiO<,2>致密后折射率和厚度变化引起的DBR中心波长偏短所致,DBR反射率下降和透射峰强度的下降是退火使表面和界面变得起伏较大所致.

关键词： 热光效应 可调谐滤波器 热处理 性能分析

作者: 左玉华 毛容伟 李传波 赵雷 蔡晓 成步文 王启明

作者单位: 中国科学院半导体研究所集成光电子国家重点实验室(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议暨第九届全国固体薄膜学术会议

会议地点: 大连

会议语种:中文

页码: 713-717

在线出版日期: 2004-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）