利用Molly语言实现MBE系统的复杂控制

摘要：

Molly语言是由Veeco开发,可以实现对其MBE系统的复杂控制.本文论述了臬Molly语言实现对Gen-Ⅱ MBE系统的复杂控制,并举例说明了如何让系统自动记录系统的状态,以及如何实现在特定的真空度下对进样室中的衬底预除气.

关键词： 分子束外延 Molly语言 复杂控制 半导体薄膜

作者: 孙永伟 徐云 倪海桥 侯识华 宋国峰 陈良惠

作者单位: 中国科学院半导体研究所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议暨第九届全国固体薄膜学术会议

会议地点: 大连

会议语种:中文

页码: 705-708

在线出版日期: 2004-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）