基于SOI光波导器件的回波损耗分析

摘要：

利用高斯光束耦合理论分析了SOI波导光电器件的回波损耗,并且采用倾斜3.37度抛光SOI波导端面和在波导端面镀减反膜的方法提高了器件的回波损耗,解决了SOI光电器件回波严重的问题,改善了器件性能.利用上述方法封装的器件回波损耗为55dB,插入损耗增加不超过1dB.

关键词： 高斯光束耦合 回波损耗 减反膜 端面斜抛 光波导器件 SOI材料

作者: 陈鹏 辛红丽 李芳 方青 刘育梁

作者单位: 中国科学院半导体研究所光电子研发中心(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议暨第九届全国固体薄膜学术会议

会议地点: 大连

会议语种:中文

页码: 696-700

在线出版日期: 2004-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）