30Gbit/s并行光发射模块制作过程中的光耦合及封装

摘要：

本文介绍了并行光发射模块制作过程中,垂直腔面发射激光器(VCSEL)列阵与列阵光纤的对准及固定方法.对斜面光纤折弯耦合和垂直耦合两种方法都进行了尝试,平均耦合效率都可达70﹪以上.比较了两种耦合方式的利弊.针对列阵光纤耦合的特点,简单介绍了列阵光纤耦合过程中光纤的位置、角度的调整方法和特点.

关键词： 并行光发射模块 列阵光纤 光耦合 垂直腔面发射激光器

作者: 裴为华 唐君 申荣铉 陈弘达

作者单位: 中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议暨第九届全国固体薄膜学术会议

会议地点: 大连

会议语种:中文

页码: 692-695

在线出版日期: 2004-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）