多线切割过程及控制分析
多线切割机用于晶圆切割具有表面损伤层浅,切缝窄,切割速度快(片平均)等优点在半导体、电子行业的应用已经有较长的时间了,本文就多线切割如何获得好的切割质量以及在实际中的应用遇到的问题做一些介绍和分析,并就其结构和控制方面提出一些改进建议,以下均以日本U-600线切割机为例说明.
控制分析 多线切割 切割质量 晶体切割
朱蓉辉
材料中心
国内会议
第十三届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议暨第九届全国固体薄膜学术会议
大连
中文
681-684
2004-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）