带有隔热槽的低功率消耗SOI基热光可变光学衰减器

摘要：

制作了带有U形隔热槽的马赫-曾德干涉型SOI热光可变光学衰减器,在1510—1610nm波长范围内动态调节范围可达到0-29dB.与未加隔热槽的相同结构光学衰减器相比,器件插入损耗和调制深度不受影响,最大功率消耗降低了230mW.

关键词： 可变光学衰减器 隔热槽 功率消耗

作者: 贺月娇 方青 辛红丽 陈鹏 李芳 刘育梁

作者单位: 中国科学院半导体研究所光电子研究发展中心(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议暨第九届全国固体薄膜学术会议

会议地点: 大连

会议语种:中文

页码: 673-676

在线出版日期: 2004-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）