SOI光波导和集成波导光开关矩阵

摘要：

本文报道了基于SOI(Silicon-on-Insulator)材料的光波导和集成波导光开关矩阵的最新研究进展.给出了截面为梯形的脊波导的单模条件,设计制备了基于MMI(Multimode interference)耦合器的2×2Mach-Zehnder干涉型热光光开关,开关转换速度达到了5-8微秒,是当前国际上同类型光开关中转换速度最快的.在此基础上首次制备成功了4×4波导光开关矩阵并实现了光信号在不同信道间的转换.

关键词： 光开关 开关速度 SOI 光开关矩阵 光波导

作者: 陈少武 余金中 刘敬伟 王章涛 夏金松 樊中朝

作者单位: 中国科学院半导体研究所,集成光电子联合国家重点实验室(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议暨第九届全国固体薄膜学术会议

会议地点: 大连

会议语种:中文

页码: 665-668

在线出版日期: 2004-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）