高信噪比视觉光电探测器研究
采用标准CMOS工艺,在N型单晶(100)硅衬底上,研制成功一种视觉硅PN结光电探测器,对探测器进行了参数测试和分析,重点研究了探测器光响应信噪比.研究发现,增加减反射膜和特殊的光谱响应普段调节技术,特别是当减反射膜厚度为探测波长的一半时,探测器的相对响应度有最大值.在520nm左右,光响应信噪比可达10<”4>以上.研制的探测器对绿光探测灵敏,具有灵敏度高、暗电流小的特点,是一种可供选择使用的理想硅视觉光电探测器.
光电探测器 减反射膜 谱段调节 信噪比
姚素英 付贤松 郑云光 张生才 李树荣 张世林 赵毅强 张为
天津大学电子信息工程学院(天津)
国内会议
第十三届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议暨第九届全国固体薄膜学术会议
大连
中文
626-628
2004-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）