半导体器件参数比例差值谱分析系统
该系统运用一种新的数据处理运算概念,即比例差值算符,揭示了元器件的另一种本征特性-比例差值特性.提供的统一用户接口便于用户实现监测、快速数据采集和分析一体化.该系统适用于薄膜材料缺陷分析和多类半导体器件如二极管、三极管、场效应管、光电器件,以化合物半导体GaAs、InP、GaN等为材料的半导体器件,HEMT、SOI器件、导质结器件、晶片、IC等直流参数测量分析.主要应用于集成电路的计算机辅助设计(CAD),新元件的评价,材料评估,电路设计的元件选择,半导体生产的过程控制、质量控制及品质保证.
半导体器件 比例差值算符 薄膜材料 质量控制 材料评估
谭长华 许铭真 杨斌 马金源
北京大学微电子研究院
国内会议
第十三届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议暨第九届全国固体薄膜学术会议
大连
中文
586-589
2004-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）