卧式常压氧化炉温控系统故障诊断

摘要：

本文简述卧式常压氧化炉炉温控系统的组成及工作原理,并为该系统故障的排查提供诊断方法.

关键词： 温度控制系统 氧化膜 故障诊断 氧化炉 氧化工艺

作者: 徐宁 王增智

作者单位: 中国电子科技集团的47研究所(辽宁沈阳)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议暨第九届全国固体薄膜学术会议

会议地点: 大连

会议语种:中文

页码: 564-567

在线出版日期: 2004-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）