氢氧合成点火系统的研究与分析

摘要：

本文分别介绍了东京电子扩散炉与TMX-9000扩散炉氢氧点火系统的组成及工作原理,并为故障的排查提供了分析方法.

关键词： 氢氧点火系统 氧化-扩散工艺 扩散炉 工作原理 氢氧合成

作者: 徐宁 王嵩宇 蔡震

作者单位: 中国电子科技集团第47研究所(辽宁沈阳)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议暨第九届全国固体薄膜学术会议

会议地点: 大连

会议语种:中文

页码: 560-563

在线出版日期: 2004-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）