铟量子点单电子晶体管

摘要：

本文报道了一种新型的铟量子点单电子晶体管,利用电子束直写系统的高分辨率和分子束外延设备的高度可控生长的特性,在纳米电极间隙上生长铟量子点;由量子点充当单电子晶体管的库仑岛,构成了单岛和多岛结构的单电子晶体管,并得到了明显的库仑阻塞特性.

关键词： 单电子晶体管 库仑阻塞 量子点

作者: 郭荣辉 赵正平 刘玉贵 武一斌 吕苗

作者单位: 西安电子科技大学微电子所(西安) 河北半导体研究所(石家庄)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议暨第九届全国固体薄膜学术会议

会议地点: 大连

会议语种:中文

页码: 472-476

在线出版日期: 2004-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）