钛酸锶钡薄膜的微结构研究

摘要：

采用射频磁控溅射法在Pt/Ti/SiO<,2>/Si衬底上制备了钛酸锶钡(简称BST)薄膜材料,利用XPS、XRD、AFM分别研究了BST薄膜的成分、晶体结构和形貌,利用PFM观察到了BST薄膜中的铁电畴,找出了BST薄膜由多畴转变为单畴的临界尺寸在28nm~31nm之间.

关键词： 磁控溅射法 铁电薄膜 微结构 钛酸锶钡薄膜

作者: 陈宏伟 杨传仁 符春林 赵莉 高志强

作者单位: 电子科技大学微电子与固体电子学院(四川成都)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议暨第九届全国固体薄膜学术会议

会议地点: 大连

会议语种:中文

页码: 427-431

在线出版日期: 2004-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）