钛酸锶钡(BST)薄膜的铁电性能研究

摘要：

采用射频磁控溅射法制备了Ba<,x>Sr<,x-1>TiO<,3>(简称BST)薄膜材料,研究了两种不同晶粒尺寸BST薄膜的介电偏压特性和电滞回线,分析了它们之间的差异,解释了电滞回线不对称的原因.

关键词： 钛酸锶钡薄膜 铁电性能 晶粒尺寸 磁控溅射法

作者: 符春林 杨传仁 陈宏伟 胡立业 王迎新

作者单位: 电子科技大学微电子与固体电子学院(成都)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议暨第九届全国固体薄膜学术会议

会议地点: 大连

会议语种:中文

页码: 418-422

在线出版日期: 2004-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）