AlN基板上无源器件的制作与建模

摘要：

无源器件是MMIC电路中必不可缺的部分,本文研究了AlN基板上几种关键无源器件的制作工艺.电阻的方阻为16.85Ω/□,在微波测试中表现出良好特性,电容的漏电流在40V下只有pA量级,击穿电压>40V,电容可靠性高,介质层致密.采用HP 8510c网络分析仪和Agillent ICCAP软件进行了电感高频建模.

关键词： 无源器件 AlN基板 制作工艺

作者: 陈晓娟 刘新宇 和致经 刘键 邵刚

作者单位: 中国科学院微电子研究所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议暨第九届全国固体薄膜学术会议

会议地点: 大连

会议语种:中文

页码: 251-255

在线出版日期: 2004-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）