DB7亚微米电子束曝光机电定位系统印制电路板的设计

摘要：

本文介绍了DB7亚微米电子束曝光机电定位系统的大面积、高密度印制电路板的设计,分析了在元器件布局、连线中的各种耦合干扰源,并提出相应的解决措施.

关键词： 电子束曝光机 电定位 印制电路板

作者: 刘洪元

作者单位: 中国电子科技集团第四十八研究所(长沙市)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第七届全国印制电路学术年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 102-108

在线出版日期: 2004-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）