测量薄膜折射率的几种方法

摘要：

准确的测量薄膜的折射率对于集成光学器件设计和制造有着重要的意义,系统而详细地介绍了多年来在折射率测量上经常采用的几种方法,分别对其原理和特点进行了分析.

关键词： 薄膜光学 折射率 聚合物薄膜 椭偏法 准波导

作者: 孙香冰 任诠 杨洪亮 冯林 Y.T.Chow

作者单位: 山东大学光学系(山东济南) 香港城市大学光电子学研究中心(香港九龙)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一届全国基础光学与光物理学术讨论会

会议地点: 井冈山

会议语种:中文

页码: 13-18

在线出版日期: 2004-11-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）